隨著
傳感器及微加工技術的發(fā)展,人們可以在同一襯底材料上制作幾種敏感元器件,制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結構形式:幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片上,制成集成化多功能傳感器,該種傳感器集成度高、體積小,各個敏感元器件的工作氛圍相同,容易實現(xiàn)補償和校正,這是多功能傳感器發(fā)展的一個方向;幾種不問的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器,可以同時測量幾個參數(shù),各敏感元器件是獨立的,如將測量溫度和測量濕度敏感元件組合在一起.構成溫濕度多功能
傳感器;用同一個敏感元器件的不同效應,得到不同的信息,如將線圈作為敏感元件,在具有不同磁導率或介電常數(shù)物質的作用下,表現(xiàn)出不同的電容和電感。
同一個敏感元件在不同激勵下表現(xiàn)出不同特性,例如
傳感器施加不同的激勵電壓、電流,在不同溫度下,其特性不同,有時可相竄于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起,需要用信號處理的方法將各種信息進行分離。
就近些年看來,多功能集成化
傳感器研究受到國內(nèi)外的廣泛關注,國內(nèi)外文獻報道,已經(jīng)有用于環(huán)境監(jiān)測、化學分析、生物保護等方面的集成傳感器。隨著MEMS技術和比技術的不斷發(fā)展,實現(xiàn)傳感器的集成化、多功能化成為可能。
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CAPTRON 100189
CAA-550-H18G4T-PS6/CP174
CAPTRON 100225 CAA-180-H18G4T-PO6/CP174
CAPTRON 100252 ISM-2000/24VDC
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CAPTRON 100277 OGR-20T-PU6
CAPTRON 100293 i20B-F56M-PS6
CAPTRON 100313 CHT1-559PRS-30
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CAPTRON 100318 CHT1-1K9B-30
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CAPTRON 100346 CHT1-198BRSO-30
CAPTRON 100349 CHT1-178P-H
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CAPTRON 100364 CHT1-158B-371
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CAPTRON 100401 CHT3-07XP-H/TG-SR/ST
CAPTRON 100418 CHT3-A71U-38/TG-SR/CP29
CAPTRON 100421 CHT32-170B-40/TG-SR
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CAPTRON 100537 CTL1-158-30/RYG
CAPTRON 100582 CAA-60-H18G4T-PS6/CP174
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